Fundamentals of high power impulse magnetron sputtering
- Författare
- Linköpings universitet Johan Böhlmark
- (Johan Böhlmark., Härtill 6 uppsatser, Diss. Linköping : Linköpings universitet, 2006)
- Genre
- Avhandlingar, theses
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Plasma & Coatings Physics Division, Department of Physics, Chemistry, and Biology, ?Linköping University | 2006 | Sverige, Linköping | 64 sidor illustrationer |